其潔凈度的控制應(yīng)與使用空間的潔凈度等級保持一致或更高!另外，高純（PH2），高純氧氣（PO2）及部分。

用氣點高純氣體品質(zhì)的保證不僅取決于制氣、純化設(shè)備及過濾器的精度，而且在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，如果依靠對氣體生產(chǎn)設(shè)備，純化設(shè)備及過濾器精度要求的無限拔高來彌補氣體管道系統(tǒng)設(shè)計不當或材料選用不當，是不正確的。

綜合以上因素考慮，7工程項目中氣體管道管材和閥門選擇如下：高純（PN2）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。（N2）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。

高純（PH2）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。高純氧氣（PO2）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁電__拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。

（Ar）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。氦氣（He）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。

潔凈干燥壓縮空氣（CDA）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁拋光的OCr18Ni9不銹鋼光亮管（304），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。呼吸壓縮空氣（BA）系統(tǒng)管道管材選用內(nèi)壁拋光的OCr18Ni9不銹鋼光亮管（304），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼球閥。

工藝真空（PV）系統(tǒng)管道管材選用UPVC管，閥門選用相同材質(zhì)的真空蝶閥。清掃真空（HV）系統(tǒng)管道管材選用UPVC管，閥門選用相同材質(zhì)的真空蝶閥。特氣系統(tǒng)管道管材均選用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼光亮管（316L），閥門選用相同材質(zhì)的不銹鋼波紋管閥。

3管道的施工安裝3.1潔凈廠房設(shè)計規(guī)范8.3節(jié)對管道的連接作如下規(guī)定（1）管道連接應(yīng)采用焊接，但熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應(yīng)符合本規(guī)范第8.3.3條的要求（2）不銹鋼光亮管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承插焊連接，但高純氣體管道宜采用內(nèi)壁痕的對接焊（3）管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。

3.2根據(jù)規(guī)范和有關(guān)措施的要求，高純氣體管路的連接應(yīng)盡量采用焊接，焊接時應(yīng)防止直接對焊，應(yīng)采用管套或成品接頭，管套應(yīng)選用與管材同等材料和內(nèi)面光滑度等級，在焊接時，為了防止焊接部位氧化，應(yīng)向施焊管內(nèi)通入。

當采用軟管連接時宜采用金屬軟管（4）管道與閥門的連接，應(yīng)符合下列的規(guī)定①高純氣體管道與閥門連接的密封材料，按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。②螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氟。法蘭連接時也應(yīng)采取類似的措施。

不銹鋼光亮管在安裝工作開始之前，必須對管材，管件，閥門等，詳實地進行外觀檢查。普通不銹鋼光亮管安裝前應(yīng)當進行內(nèi)壁酸洗。氧氣管道的管材，管件，閥門等，應(yīng)當嚴格禁油，并在安裝前按有關(guān)要求進行嚴格脫脂。在系統(tǒng)安裝完畢投入使用前，應(yīng)當用所輸送的高純氣體對輸配管路系統(tǒng)進行地吹除。